創業以来約18年、ウエハファブの検査装置について常にお客様のお悩みの問題解決に邁進してまいりました。

 歩留り改善の技術として勤務した長年の経験と実績で、多くのお客様の悩みやニーズを解決させて参りました。
 GTEK 株式会社

[現在リファブ済み販売中]    ① KLA-2139   ② Hitachi CDSEM S9300

 FAB欠陥検査装置のトラブルシューテイング・部品販売・部品修理・CDSEMのEチャックのリファブ。

 KLA-Tencorの検査装置(2365/2367/Puma/2351/2360/2139/2138等) 特に2351/2360等リファブ済みの完動品装置販売 ・ TW製の装置OP/TPシリーズ   

 AMAT製のCDSEM/欠陥検査装置 ・ ADE9500・ADE9600 シリーズ装置他・日立ハイテック製CDSEM全般 ・ JOEL2000 SEM装置      
 Eチャック: CDSEMやエッチャー等のプロセス装置のEチャックの最高品質のリファブや改善を提供。

 

ご電話・お問い合わせは下記へ

08065998778
営業時間
AM4:00 ~ PM22:00
休 業 日
 なし

部品販売

❶ 下記の装置の部品についてのご要求が多いと予想致しております。いままで、Puma, Escape (Explorer)の2365/2367, Stealthの2351/2339/2360等, 213Xシリーズの2139や2138/2135等について、光学的なあまり壊れにくく、通常触ってはいけない部品を除いて、お客様からお求めの部品で供給出来なかったものは殆んどありませんでした。2365/2367/PUMAのStageにつきましても、もし、必要であれば、その調整・キャリブレーションも可能です。213XのIMCボード、Puma, Escape (Explorer)用のMercury, 2367用のNode等の部品、それらのStage や Z-Theta Assy, TDI のTotal ASSY, PLLADのTotal Assy, それらのマザーボード(これは、出荷時に機能保証はしますが、お客様にてタイミング マッチングをお出来になれる場合のみ供給)。ただし、高額ではないものでメーカーにて在庫があるものは、当社にご連絡いただくメリットはあまりないかと存じます。
❷ KLA TENCOR社製の欠陥検査装置・膜厚測定機・マスクアラインメント精度測定機、
❸ THERMAWAVE 社製のOPシリーズ・TPシリーズ、
❹ AMAT社製のCDSEM・欠陥検査装置のCompass/CompassPro/COMPLUS、
❺ HitachiHitech社製のS88XX/S92XX/S9260/S9380/CG4XXX/CG5XXX/以前の型のRS5000等のCDSEM、
❻ 当社にて通常在庫があります2138/2139等の部品につきましては、その日に出荷可能です。遅くても、翌日には、早い便でお届け可能です。みな、機能テスト済みです。
❼ なお、Eチャックにつきましては、最高品質のEチャックのリファブを提供いたしております。対象のEチャックは、CDSEMやエッチャー等のプロセス装置のEチャックを対象といたしております。先ずは、ご連絡ください。

❽ お電話は、080-6599-8778 へ。
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