創業以来約19年、ウエハファブの検査装置について常にお客様のお悩みの問題解決に邁進してまいりました。
歩留り改善の技術として勤務した長年の経験と実績で、多くのお客様の悩みやニーズを解決させて参りました。
GTEK株式会社
[リファブ済み装置の販売]
① リファブ済み KLA-2139: (現在受注納品可能)
②リファブ済み HITACHI CDSEM S7840 (現在受注納品可能)
③HITACHI CDSEM S8840 (現在受注納品可能)
④リファブ済み HITACHI CDSEM S9300 (現在受注納品可能)
⑤HITACHI CDSEM CG6300 (現在受注納品可能)
FAB欠陥検査装置のトラブルシューテイング・部品販売・部品修理・CDSEMのEチャックのリファブ。
KLA-Tencorの検査装置(2365/2367/Puma/2351/2360/2139/2138等) 特に2351/2360等リファブ済みの完動品装置販売 ・部品販売、
TW製のリファブした装置OP/TPシリーズ、AMAT製のCDSEM/欠陥検査装置 ・ ADE9500装置他、日立ハイテック製CDSEMの
S9300 S9380などの装置・部品修理や販売、
Eチャック: CDSEMやエッチャー等のプロセス装置のEチャックの最高品質のリファブや改善を提供。
下記の装置でお悩みの節はご相談ください。
1. KLA TENCOR社製の、欠陥検査装置・膜厚測定機・マスクアラインメント精度測定機、
2. ThermaWave社製のOPシリーズ・TPシリーズ、
3. AMAT社製のCDSEM・欠陥検査装置のCompass・CompassPro・COMPLUS、
4. HitachiHitech社製のS88XX/S92XX/S9260/9380/ CG4XXX/CG5XXX//RS5000 その他
お電話は、080-6599-8778 へどうぞ。又は、
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ご遠慮なくどうぞご質問をお寄せください。お電話でも、下記の【お問い合わせはこちら】からお送り頂いても結構です。できるだけ速やかに回答します。