創業以来約18年、ウエハファブの検査装置について常にお客様のお悩みの問題解決に邁進してまいりました。

 歩留り改善の技術として勤務した長年の経験と実績で、多くのお客様の悩みやニーズを解決させて参りました。
 GTEK 株式会社

[現在リファブ済み販売中]    ① KLA-2139   ② Hitachi CDSEM S9300

 FAB欠陥検査装置のトラブルシューテイング・部品販売・部品修理・CDSEMのEチャックのリファブ。

 KLA-Tencorの検査装置(2365/2367/Puma/2351/2360/2139/2138等) 特に2351/2360等リファブ済みの完動品装置販売 ・ TW製の装置OP/TPシリーズ   

 AMAT製のCDSEM/欠陥検査装置 ・ ADE9500・ADE9600 シリーズ装置他・日立ハイテック製CDSEM全般 ・ JOEL2000 SEM装置      
 Eチャック: CDSEMやエッチャー等のプロセス装置のEチャックの最高品質のリファブや改善を提供。

 

ご電話・お問い合わせは下記へ

08065998778
営業時間
AM4:00 ~ PM22:00
休 業 日
 なし

半導体製造前工程の検査装置でお悩み

下記の装置でお悩みの節はご相談ください。

1. KLA TENCOR社製の、欠陥検査装置・膜厚測定機・マスクアラインメント精度測定機、

2. ThermaWave社製のOPシリーズ・TPシリーズ、

3. AMAT社製のCDSEM・欠陥検査装置のCompass・CompassPro・COMPLUS、

4. HitachiHitech社製のS88XX/S92XX/S9260/9380/     CG4XXX/CG5XXX//RS5000 その他

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