（オリジンの会社の）創業以来約20年、ウエハファブの検査装置について常にお客様のお悩みの問題解決に邁進してまいりました。
歩留り改善の技術として勤務した長年の経験と実績で、多くのお客様の悩みやニーズを解決させて参りました。
MKTEK株式会社
●リファブ済み装置販売
① リファブ済み KLA-2139, 2138, 2138XP, 2135 : (現在受注納品可能)
②リファブ済み HITACHI CDSEM S7840 (現在受注納品可能)
③HITACHI S9380 (現在受注納品可能)
④HITACHI CDSEM CG4000 (現在受注納品可能)
⑤HITACHI CDSEM CG5000 (現在受注納品可能)
●FAB欠陥検査装置のトラブルシューテイング・部品販売・部品修理・CDSEMのEチャックのリファブ
KLA-Tencorの検査装置(2365/2367/Puma/2351/2360/2139/2138等) 特に2351/2360等リファブ済みの完動品装置販売 ・部品販売、
TW製のリファブした装置OP/TPシリーズ、AMAT製のCDSEM/欠陥検査装置 ・ ADE9500装置他、日立ハイテック製CDSEMの
S9300 S9380 CG4000 CG5000 などの装置・部品修理や販売（ケースによって可能）
Eチャック: CDSEMやエッチャー等のプロセス装置のＥチャックの最高品質のリファブや改善を提供。
半導体検査装置サービス
ウエハファブの欠陥検査装置や膜厚測定機・CDSEMについてのサービスを行っております。対象の装置メーカーの装置の種類は次の通りです。
KLA TENCOR社製の欠陥検査装置・膜厚測定機・マスクアラインメント精度測定機、ThermaWave社製のOPシリーズ・TPシリーズ、AMAT社製のCDSEM・欠陥検査装置のCompass・CompassPro・COMPLUS、HitachiHitec h社製のS88XX/S9200/S9260/S9380(II)/CG4XXX/CG5XXX/RS5000等のCDSEMを対象と致しております。それ以外には、ご要求の多いものとしてCDSEMのEチャックの最高品質の再生を提供いたしております。もし解決されたい問題がありましたら、お気軽にご相談ください。お電話は、080-6599-8778 へ。
又は、下記の「お問い合わせはこちら」から、お問い合わせをお送りください。
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