創業以来約18年、ウエハファブの検査装置について常にお客様のお悩みの問題解決に邁進してまいりました。

 歩留り改善の技術として勤務した長年の経験と実績で、多くのお客様の悩みやニーズを解決させて参りました。
 GTEK 株式会社

[現在リファブ済み販売中]    ① KLA-2139   ② Hitachi CDSEM S9300

 FAB欠陥検査装置のトラブルシューテイング・部品販売・部品修理・CDSEMのEチャックのリファブ。

 KLA-Tencorの検査装置(2365/2367/Puma/2351/2360/2139/2138等) 特に2351/2360等リファブ済みの完動品装置販売 ・ TW製の装置OP/TPシリーズ   

 AMAT製のCDSEM/欠陥検査装置 ・ ADE9500・ADE9600 シリーズ装置他・日立ハイテック製CDSEM全般 ・ JOEL2000 SEM装置      
 Eチャック: CDSEMやエッチャー等のプロセス装置のEチャックの最高品質のリファブや改善を提供。

 

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休 業 日
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半導体検査装置サービス

リファブしたKLA-TENCOR社のKT2360 & 2351を販売中

ウエハファブの欠陥検査装置や膜厚測定機・CDSEMについてのサービスを行っております。対象の装置メーカーの装置の種類は次の通りです。
KLA TENCOR社製の欠陥検査装置・膜厚測定機・マスクアラインメント精度測定機、ThermaWave社製のOPシリーズ・TPシリーズ、AMAT社製のCDSEM・欠陥検査装置のCompass・CompassPro・COMPLUS、HitachiHitech社製のS88XX/S9200/S9260/S9380(II)/CG4XXX/CG5XXX/RS5000等のCDSEMを対象と致しております。それ以外には、ご要求の多いものとしてCDSEMのEチャックの最高品質の再生を提供いたしております。もし解決されたい問題がありましたら、お気軽にご相談ください。お電話は、080-6599-8778 へ。
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