創業以来約18年、ウエハファブの検査装置について常にお客様のお悩みの問題解決に邁進してまいりました。

 歩留り改善の技術として勤務した長年の経験と実績で、多くのお客様の悩みやニーズを解決させて参りました。
 GTEK 株式会社

[現在リファブ済み販売中]    ① KLA-2139   ② Hitachi CDSEM S9300

 FAB欠陥検査装置のトラブルシューテイング・部品販売・部品修理・CDSEMのEチャックのリファブ。

 KLA-Tencorの検査装置(2365/2367/Puma/2351/2360/2139/2138等) 特に2351/2360等リファブ済みの完動品装置販売 ・ TW製の装置OP/TPシリーズ   

 AMAT製のCDSEM/欠陥検査装置 ・ ADE9500・ADE9600 シリーズ装置他・日立ハイテック製CDSEM全般 ・ JOEL2000 SEM装置      
 Eチャック: CDSEMやエッチャー等のプロセス装置のEチャックの最高品質のリファブや改善を提供。

 

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営業時間
AM4:00 ~ PM22:00
休 業 日
 なし

当社の特徴

当社の特徴

半導体製造前工程ウエハ検査装置とEチャックのリファブに特化しております。

KLATencor社製の明視野、暗視野の欠陥検査装置(213X, Stealth, Escape, PUMA等)、OPTI / TP 装置, AMAT社製CDSEM(SemVisionCX, G2-G6), COMPASS,COMPLUSを主に取り扱っております。装置や部品を熟知したエンジニアリングスタッフが御社の課題に対応いたします。トラブルをお抱えで解決の方法を模索して居らっしゃる場合には、ご連絡ください。トラブルの詳細を教えて頂ければ、お電話やメールで解決する場合がございます。場合によっては、プロフェッショナルの来構が必要な場合には、段取りをいたします。100%一緒に参りますので、英語が必要な場合も意思の疎通にお困りになる事はございません。

  • どうぞお気軽にご相談ください。
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現場の方との連携

検査装置のメンテナンス・トラブルシューテイングを行っておられる現場のエンジニアの方々との連携を重視しております。日頃からノウハウを共有することで、品質良く、早い納期、お客様に有利な価格でサービス/納品を心がけております。左記装置等でお困りの節はご連絡ください。エキスパートによる考察・判断結果をお知らせします。他のところで長期間解決できず、速やかな解決をお望みの場合には、特にご相談ください。出来るだけ速やかに、問題解決のヘルプをさせて頂きたいと存じます。

  • どうぞお気軽にご相談ください。
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短納期

短納期が強みです。通常メーカーに依頼すると長くかかるところを、最短1日、通常2ー3日程度での納品が可能なケースが多数ございます。お困りの方、急な問題解決が必要でお急ぎの方も、どうぞお気軽に、まずご相談ください。PUMAや2365・2367の部品でも正式ご発注から最速2日で納品可能です。Mercury、Nodeでも、それが可能です。IMCボードでも納期を最短にできるように努力しております。AMAT社製装置日立ハイテック社製装置も同様です。場合によっては、出来ない事もございますが、まずはご連絡ください。

  • どうぞお気軽にご相談ください。
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入手し易い価格

できるだけ手頃な価格での納品を行っております。メーカーへのご発注では何千万円ほどする部品も、当社ではその6割以下で純正部品をご提供可能です。しかも、正式のご発注から、最短納期2日・通常3日で納入可能な場合が多くあります。在庫があります場合には、その日中にお届けする事も可能です。

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長い保証期間

納品後に長い保証期間を設けております。アフターフォローサービスを行っており、部品や装置の詳細なトレーニングも行っております。もし、保証を長期にわたって付けられたい場合はご連絡ください。ご相談の上対応させていただきます。1年以上の保証期間も可能です。

  • どうぞお気軽にご相談ください。
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海外対応も可能

日本全国の半導体製造前工程をお持ちのお客様、海外のメーカー様からのご依頼を承っております。どうぞお気軽にご相談ください。世界中どこにでも参ります。日本中、アメリカ、ヨーロッパ、アジアのどこにでも参ります。

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