創業以来約18年、ウエハファブの検査装置について常にお客様のお悩みの問題解決に邁進してまいりました。

 歩留り改善の技術として勤務した長年の経験と実績で、多くのお客様の悩みやニーズを解決させて参りました。
 GTEK 株式会社

[現在リファブ済み販売中]    ① KLA-2139   ② Hitachi CDSEM S9300

 FAB欠陥検査装置のトラブルシューテイング・部品販売・部品修理・CDSEMのEチャックのリファブ。

 KLA-Tencorの検査装置(2365/2367/Puma/2351/2360/2139/2138等) 特に2351/2360等リファブ済みの完動品装置販売 ・ TW製の装置OP/TPシリーズ   

 AMAT製のCDSEM/欠陥検査装置 ・ ADE9500・ADE9600 シリーズ装置他・日立ハイテック製CDSEM全般 ・ JOEL2000 SEM装置      
 Eチャック: CDSEMやエッチャー等のプロセス装置のEチャックの最高品質のリファブや改善を提供。

 

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GTEKよりお客様へ

1.欠陥検査装置やCDSEMの部品は非常に高額です。それに対して、お客様へのコメントとしてお伝えしたいことが幾つかあります。お読みなってご参考にしていただければと存じます。

1. 装置のボード類は非常にデリケートです。ちょっとしたことで、何百万円、数千万円する部品を壊すことになってしまいます。それを防止するには、基本を徹底的にお守りになることです。

1−1. 基本の第一は、静電破壊防止用の接地されたバンドを手にはめる、それをつけないで絶対にボードに触らない、という基本を面倒くさくても守ることです。

1−2. IMCボード等の基盤の定期的な抜き・差しを装置に対して必ず行うことです。クリーンルームの中で、装置の検査ステージは思い大理石の上に接地され、床の除振台に置かれていますが、USER Interface (UI)等は、そのような重い大理石を用いて振動を予防するような措置は施されていない時が数多くあります。そうしますと、地球は動いていますし、日本では微小な地震が日々起こっており、それがクリーンルームにつたわります。その床の振動は常にボードを収めてあるケージにも伝わり、ケージに差してある高価なボード類は、微妙な振動の累積でミクロ的に緩む方向に動かされています。それが、ある程度長い期間には、微妙な緩みを発生させます。そうしますと、突然、臨界に達した緩みの為にマイクロ的なスパークが生じ、それが、何百万円、何千万円という、高額な部品一瞬のうちに破壊させてしまうのです。それを予防するのに最も簡単で安価な予防法は、定期的に、この抜き・差しというメンテ作業を決められた間隔で徹底的に行うことです。それを徹底しますと、IMCボードやMercuryやNodeと言った高額な多数のボードからなっているボードの集まりの化け物みたいな部品の突発的な故障をかなりの%で予防できるようになります。そうしますと、メーカーとの契約がなくて、メーカーが忙しくて来てくれなくて、サードパーテイーに頼む必要も無くなりますし、高額な部品代を払う必要も無くなりますし、装置のダウンによる生産計画の不達成という自体も防ぐ事が出来るようになります。

1−3. 装置は、物理的に常に動いている可動部品や機能しながら消耗が進んでいる構成部品から成り立っています。それらは、油差しやグリース塗り、キャリブレーション、高さや水平方向の位置調整をしませんと、ギシギシとした動きを少しずつ発生させ、それが、進行し目に見えるようになりますと、ベアリングの異常、スムーズに動くべき面に傷を付け、高額な取り替えが必要になってきます。当社では、そのような大型部品の在庫もしており、緊急な対応にも答えられますが、お客様にとって、それは、高額な損失、生産への阻害に大きくつながり、生産計画の達成、チップコストの上昇、御社のお客様からの、生産計画の不達成による納期遅延によって、その後のお客様からのご発注の減少、競争相手との熾烈な競争力を失われる事に繋がってしまいます。特に、日本のお客様にそのような事で、私どもの大事なお客様の存続に関わる危険な事態につながります。そうなりますと、GTEKにとりましてもビジネスチャンスが無くなりますので、非情に由々しき事態につながります。それは、GTEKとしましても避けたいと心から願っております。

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