創業以来約18年、ウエハファブの検査装置について常にお客様のお悩みの問題解決に邁進してまいりました。

 歩留り改善の技術として勤務した長年の経験と実績で、多くのお客様の悩みやニーズを解決させて参りました。
 GTEK 株式会社

[現在リファブ済み販売中]    ① KLA-2139   ② Hitachi CDSEM S9300

 FAB欠陥検査装置のトラブルシューテイング・部品販売・部品修理・CDSEMのEチャックのリファブ。

 KLA-Tencorの検査装置(2365/2367/Puma/2351/2360/2139/2138等) 特に2351/2360等リファブ済みの完動品装置販売 ・ TW製の装置OP/TPシリーズ   

 AMAT製のCDSEM/欠陥検査装置 ・ ADE9500・ADE9600 シリーズ装置他・日立ハイテック製CDSEM全般 ・ JOEL2000 SEM装置      
 Eチャック: CDSEMやエッチャー等のプロセス装置のEチャックの最高品質のリファブや改善を提供。

 

ご電話・お問い合わせは下記へ

08065998778
営業時間
AM4:00 ~ PM22:00
休 業 日
 なし

KLA-TENCOR部品販売・修理

当社にて可対応可能な装置は下記の通りです。
特に、TDI TOTAL ASSY, PLLAD TOTAL ASSY, MERCURY, NODE, 等は短納期にて供給可能です。2131/2132/2133/2135(XP)/2138(XP)/2139 
2350/2339/2351/2360 
2365/2367 
9000D/91xx/9300 
2800シリーズ(一部)

AIT2/AITXP/AITXP+/AITUV
SL300/SL400
UV1280SE/F5X/SFX100/SFX200
SFS 6200/6400/6420/SP1Classic/SP1TBI/SP2/SP1DLS
5100/5200/5200XP/5300 /Archer10/Archer10XP/Archer Aim
HRP75/HRP100/HRP2xx/HRP3xx
FLX2xxx/FLX5xxx
RS30/RS35/RS55/RS75/RS100/RS100C
VIPER 2401

THERMAWAVE装置
OP2xxx/3xxx/4xxx/5xxx
TP3XX/TP4XX/ TP5XX (5XXのLaserは除きます)。

お電話は、080-6599-8778 へどうぞ。又は、
下記の【▶️お問い合わせはこちらへ】をクリックされて、お問い合わせになりたい内容をお送りください。

❶ 2139のPLLAD Total ASSYの価格が超高額で困っていました。

メーカーさんではなかなか対応してもらえず、どうしたものかと途方に
暮れておられました。しかしGTEKに相談にのって頂いたあと、とてもスムーズに問題を解決することができました。

お陰で短納期で取り付けも速やかに終わり生産への悪影響を最小限に抑えられました。これについてはアクションスタート・正式発注後2日で届き、すぐに取り付けやキャリブレーションも終了、現在でも、問題なく稼働しています。

❷ TDI TOTAL ASSYが超高額で困っていました。

GTEKにてすぐにご対応いただき、ドーターボードだけの修理だけでは
問題が新しく発生し、帰って事態を悪化させるというご説明の元に、任せました。すると、タイミングのマッチングやキャリブレーションをきちんと行ったTDI ASSYをお届けいただき、派遣していただいたエンジニアの方により、すぐに問題なく調整・キャリブレーションも終了。一台しかなかった装置をそれ以上ダウンさせる事なく立ち上げる事ができました。
GTEKにより、生産への悪影響を最小限に抑えられました。発注後3日で届き、現在も順調に装置は動いております。

2365のMercuryが壊れ、価格が高額で心底困っていました。

GTEKに連絡すると、日本の本社に在庫があったので、即日納入いただき、元々トレーニングをGTEKから受けていましたので、すぐにいろいろな注意事項を再確認しながら、無事、Mercuryの取り付けを完了。装置はその後、問題なく動いています。このような、大きな部品をすぐに供給できる会社はあまりないと思います。他のお客さんも、一度試してみるといいと思います。そうされると、その技術の確実さ、サポートの良さを実感していただけると思います。予算が許せば、GTEKから、基礎、中級、上級と、トレーニングを受けられ、自助努力の成果を長年にわたって享受されてはいかがかと思います。

2367のNodeが壊れ高額で困っていました

GTEKに連絡、日本に在庫があり、翌日納入。エンジニアもすぐに来て頂き、キャリブレーションも完了。今も問題なく動いています。

❺ 今まで2138や2139のIMCボードが壊れ、すぐに立ち上げができず困っていた事が何回もありました。

GTEKに2138や2139の主な部品は在庫があり、すぐに送っていただき、取り付け完了。GTEK社は、2138や2139のIMCボードは出荷前にテスト済みで、ほとんどの部品の在庫があり、すぐに送ってもらうことが多くあります。VIF3, VIF5, RDP, RDF, TDI ASSY, Z-Theta Assy, MM2, DD, DF, DP, XYI, PLLAD ASSY, FFA, MMED, Nanosensor, Y Mirror Assy 等、GTEKに送って頂いたものは、テスト済みで、ほとんど初期不良はありませんでした。