創業以来約19年、ウエハファブの検査装置について常にお客様のお悩みの問題解決に邁進してまいりました。
歩留り改善の技術として勤務した長年の経験と実績で、多くのお客様の悩みやニーズを解決させて参りました。
GTEK株式会社
[リファブ済み装置の販売]
① リファブ済み KLA-2139: (現在受注納品可能)
②リファブ済み HITACHI CDSEM S7840 (現在受注納品可能)
③HITACHI CDSEM S8840 (現在受注納品可能)
④リファブ済み HITACHI CDSEM S9300 (現在受注納品可能)
⑤HITACHI CDSEM CG6300 (現在受注納品可能)
FAB欠陥検査装置のトラブルシューテイング・部品販売・部品修理・CDSEMのEチャックのリファブ。
KLA-Tencorの検査装置(2365/2367/Puma/2351/2360/2139/2138等) 特に2351/2360等リファブ済みの完動品装置販売 ・部品販売、
TW製のリファブした装置OP/TPシリーズ、AMAT製のCDSEM/欠陥検査装置 ・ ADE9500装置他、日立ハイテック製CDSEMの
S9300 S9380などの装置・部品修理や販売、
Eチャック: CDSEMやエッチャー等のプロセス装置のEチャックの最高品質のリファブや改善を提供。
当社にて可対応可能な装置は下記の通りです。
特に、TDI TOTAL ASSY, PLLAD TOTAL ASSY, MERCURY, NODE, 等は短納期にて供給可能です。2131/2132/2133/2135(XP)/2138(XP)/2139
2350/2339/2351/2360
2365/2367
9000D/91xx/9300
2800シリーズ(一部)
AIT2/AITXP/AITXP+/AITUV
SL300/SL400
UV1280SE/F5X/SFX100/SFX200
SFS 6200/6400/6420/SP1Classic/SP1TBI/SP2/SP1DLS
5100/5200/5200XP/5300 /Archer10/Archer10XP/Archer Aim
HRP75/HRP100/HRP2xx/HRP3xx
FLX2xxx/FLX5xxx
RS30/RS35/RS55/RS75/RS100/RS100C
VIPER 2401
THERMAWAVE装置
OP2xxx/3xxx/4xxx/5xxx
TP3XX/TP4XX/ TP5XX (5XXのLaserは除きます)。
お電話は、080-6599-8778 へどうぞ。又は、
下記の【▶️お問い合わせはこちらへ】をクリックされて、お問い合わせになりたい内容をお送りください。
メーカーさんではなかなか対応してもらえず、どうしたものかと途方に
暮れておられました。しかしGTEKに相談にのって頂いたあと、とてもスムーズに問題を解決することができました。
GTEKにてすぐにご対応いただき、ドーターボードだけの修理だけでは
問題が新しく発生し、帰って事態を悪化させるというご説明の元に、任せました。すると、タイミングのマッチングやキャリブレーションをきちんと行ったTDI ASSYをお届けいただき、派遣していただいたエンジニアの方により、すぐに問題なく調整・キャリブレーションも終了。一台しかなかった装置をそれ以上ダウンさせる事なく立ち上げる事ができました。GTEKにより、生産への悪影響を最小限に抑えられました。発注後3日で届き、現在も順調に装置は動いております。
GTEKに連絡すると、日本の本社に在庫があったので、即日納入いただき、元々トレーニングをGTEKから受けていましたので、すぐにいろいろな注意事項を再確認しながら、無事、Mercuryの取り付けを完了。装置はその後、問題なく動いています。このような、大きな部品をすぐに供給できる会社はあまりないと思います。他のお客さんも、一度試してみるといいと思います。そうされると、その技術の確実さ、サポートの良さを実感していただけると思います。予算が許せば、GTEKから、基礎、中級、上級と、トレーニングを受けられ、自助努力の成果を長年にわたって享受されてはいかがかと思います。
GTEKに連絡、日本に在庫があり、翌日納入。エンジニアもすぐに来て頂き、キャリブレーションも完了。今も問題なく動いています。
GTEKに2138や2139の主な部品は在庫があり、すぐに送っていただき、取り付け完了。GTEK社は、2138や2139のIMCボードは出荷前にテスト済みで、ほとんどの部品の在庫があり、すぐに送ってもらうことが多くあります。VIF3, VIF5, RDP, RDF, TDI ASSY, Z-Theta Assy, MM2, DD, DF, DP, XYI, PLLAD ASSY, FFA, MMED, Nanosensor, Y Mirror Assy 等、GTEKに送って頂いたものは、テスト済みで、ほとんど初期不良はありませんでした。
ご遠慮なくどうぞご質問をお寄せください。お電話でも、下記の【お問い合わせはこちら】からお送り頂いても結構です。できるだけ速やかに回答します。