ごあいさつ

半導体製造前工程欠陥検査装置の修理・部品販売・修理なら GTEK (株)へ。

• ウエハ工程の欠陥検査装置のリファブ・部品の修理・部品の販売・トラブルシューテイング・ターンキーソリューション・等のご依頼に迅速対応いたしております。
• 取り扱い装置：KLA-TENCOR社欠陥検査装置、Thermawave社のOPTI/TPシリーズ、AMAT社SemVision・COMPLUS・COMPASS、日立ハイテック社CDSEM等に対応しております。特に、PUMAの9000シリーズ/ESCAPEの2365/2367, STEALTHの2351/2360/2350 等、SemVsionCX系・G2からG6までに対する部品の供給・修理を早い納期で行っております。特に2139/2138/2135用の部品の供給は迅速に行います。　
• 他に、部品の供給が出来るものとしましては、次のものがございます。
• KLATencor社製装置​​​：RS75/50等の部品・リファブ済みの装置、SFS6000シリーズやSPI TBI 等、AIT1/2/XP/XP+, VIPER2401, 等のレーザー・部品・リファブ装置の供給・トラブルシューテイング
• 旧Thermawave社装置：OPシリーズ、TPシリーズの部品・リファブ装置の供給・トラブルシューテイング
• AMAT社装置：SemVisionCX・・トラブルシューテイングG2～G６・COMPASS・COMPLUS装置の部品・リファブ装置の供給・トラブルシューテイング　　
• 日立ハイテック社装置のCDSEM：詳細は、日立CDSEMの項目をご覧ください。
• CDSEMやエッチャーのEチャックの最高品質のリファブを行っております。
• どうぞお気軽にご相談ください。
• お電話は：080-6599-8778へどうぞ。