創業以来約18年、ウエハファブの検査装置について常にお客様のお悩みの問題解決に邁進してまいりました。

 歩留り改善の技術として勤務した長年の経験と実績で、多くのお客様の悩みやニーズを解決させて参りました。
 GTEK 株式会社

[現在リファブ済み販売中]    ① KLA-2139   ② Hitachi CDSEM S9300

 FAB欠陥検査装置のトラブルシューテイング・部品販売・部品修理・CDSEMのEチャックのリファブ。

 KLA-Tencorの検査装置(2365/2367/Puma/2351/2360/2139/2138等) 特に2351/2360等リファブ済みの完動品装置販売 ・ TW製の装置OP/TPシリーズ   

 AMAT製のCDSEM/欠陥検査装置 ・ ADE9500・ADE9600 シリーズ装置他・日立ハイテック製CDSEM全般 ・ JOEL2000 SEM装置      
 Eチャック: CDSEMやエッチャー等のプロセス装置のEチャックの最高品質のリファブや改善を提供。

 

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営業時間
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休 業 日
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トラブルシューティング

問題をお抱えになりながらも、今まで頼っていらっしゃったところからのリスポンスが遅く、または、来てくれても、問題の所在がはっきりしない、または、必要と言われた部品の価格が高額すぎてご承認が得られない、なんとかご承認が得られるレベルまで価格を下げたい、必要な部品の納期が長すぎて、生産を非常に阻害している、等のお悩みをお持ちの場合には、すぐにご連絡ください。ご相談の上、いかなる課題もできるだけ速やかに解決できるような状況を創り、早急に生産を阻害しないようにアクションを取りたいと存じます。 対象装置は、KLA TENCOR社製の欠陥検査装置・膜厚測定機・マスクアラインメント精度測定機(Archer, 5300, 5200等)、ThermaWave社製のOPシリーズ・TPシリーズ、AMAT社製のCDSEM・欠陥検査装置のCompass・CompassPro・COMPLUS、HitachiHitech社製の8820・8840・RS5000等のCDSEM、

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