創業以来約19年、ウエハファブの検査装置について常にお客様のお悩みの問題解決に邁進してまいりました。
歩留り改善の技術として勤務した長年の経験と実績で、多くのお客様の悩みやニーズを解決させて参りました。
GTEK株式会社
[リファブ済み装置の販売]
① リファブ済み KLA-2139: (現在受注納品可能)
②リファブ済み HITACHI CDSEM S7840 (現在受注納品可能)
③HITACHI CDSEM S8840 (現在受注納品可能)
④リファブ済み HITACHI CDSEM S9300 (現在受注納品可能)
⑤HITACHI CDSEM CG6300 (現在受注納品可能)
FAB欠陥検査装置のトラブルシューテイング・部品販売・部品修理・CDSEMのEチャックのリファブ。
KLA-Tencorの検査装置(2365/2367/Puma/2351/2360/2139/2138等) 特に2351/2360等リファブ済みの完動品装置販売 ・部品販売、
TW製のリファブした装置OP/TPシリーズ、AMAT製のCDSEM/欠陥検査装置 ・ ADE9500装置他、日立ハイテック製CDSEMの
S9300 S9380などの装置・部品修理や販売、
Eチャック: CDSEMやエッチャー等のプロセス装置のＥチャックの最高品質のリファブや改善を提供。
日立ハイテック社製CDSEM
Hitachi Hitech社製のCDSEMについて、お困りの際はご連絡ください。また、独自の教材にて、 トレーニングも致します。
88XX/S92XX/S9260/9380/CG4XXX/CG5XXX//RS5000 その他、まずはご相談ください。
お電話は、080-6599-8778 へ、Eメールは、cs@gtekco.com へどうぞ。
| 項目 | Skill set | S88XX | S92XX | S9260 | S9380 | CG4XXX | CG5XXX |
| メンテ | Annual PM (SE-TIP Replacement) | | | | | | |
| 6M-PM (Stage cleaning) | | | | | | | |
| Q-PM | | | | | | | |
| ガン | GUN Chamber overhaul | | | | | | |
| GUN Chamber maintenance | | | | | | | |
| GUN alignment | | | | | | | |
| Image Troubleshooting | | | | | | | |
| ステージ・ チャンバ | Stageballscrew replacement | | | | | | |
| Stagechamber maintenance | | | | | | | |
| Stage laser replacement and repair | Not Applied | Not Applied | Not Applied | | | | |
| Stage linear sensor replacement | | | | Not Applied | Not Applied | Not Applied | |
| Stage accuracy adjust | | | | | | | |
| 真空関連 | Turbo Pump replacement | | | | | | |
| Ion pump replacement | | | | | | | |
| Vacuum valve and cylinder replacement | | | | | | | |
| ウエハ・トランスファー | Wafer transfer robot repair (AB-ARM Unit) | | | | Not Applied | Not Applied | Not Applied |
| ATM robot replacement and repair | | | | | | | |
| Pre aligner unit replacement and repair | | | | | | | |
| SEM システム | CD matching | | | | | | |
| PCB control loop | | | | | | |
❶ 問題がスムーズに解決
高額部品・デイスコンの部品の取り替えについて、他社ではなかなか対応してもらえず、どうしたものかと途方に暮れていました。しかしGTEKが相談に乗ってくださったおかげで、とてもスムーズに問題を解決することができました。
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