創業以来約18年、ウエハファブの検査装置について常にお客様のお悩みの問題解決に邁進してまいりました。

 歩留り改善の技術として勤務した長年の経験と実績で、多くのお客様の悩みやニーズを解決させて参りました。
 GTEK 株式会社

[現在リファブ済み販売中]    ① KLA-2139   ② Hitachi CDSEM S9300

 FAB欠陥検査装置のトラブルシューテイング・部品販売・部品修理・CDSEMのEチャックのリファブ。

 KLA-Tencorの検査装置(2365/2367/Puma/2351/2360/2139/2138等) 特に2351/2360等リファブ済みの完動品装置販売 ・ TW製の装置OP/TPシリーズ   

 AMAT製のCDSEM/欠陥検査装置 ・ ADE9500・ADE9600 シリーズ装置他・日立ハイテック製CDSEM全般 ・ JOEL2000 SEM装置      
 Eチャック: CDSEMやエッチャー等のプロセス装置のEチャックの最高品質のリファブや改善を提供。

 

ご電話・お問い合わせは下記へ

08065998778
営業時間
AM4:00 ~ PM22:00
休 業 日
 なし

日立ハイテック社製CDSEM

Hitachi Hitech社製のCDSEMについて、お困りの際はご連絡ください。また、独自の教材にて、       トレーニングも致します。                                                       

88XX/S92XX/S9260/9380/CG4XXX/CG5XXX//RS5000 その他、まずはご相談ください。

お電話は、080-6599-8778 へ、Eメールは、cs@gtekco.com へどうぞ。

項目

Skill set

S88XX

S92XX

S9260

S9380

CG4XXX

CG5XXX

メンテ

Annual PM (SE-TIP            Replacement)

6M-PM (Stage cleaning)

Q-PM

ガン

GUN Chamber overhaul

GUN Chamber maintenance

GUN alignment

Image Troubleshooting

ステージ・

チャンバ

Stageballscrew replacement

Stagechamber maintenance

Stage laser replacement    and repair

Not      Applied

  Not      Applied

Not     Applied

Stage linear sensor      replacement

Not      Applied

Not        Applied

Not       Applied

Stage accuracy adjust

真空関連

Turbo Pump replacement

Ion pump replacement

Vacuum valve and cylinder   replacement

ウエハ・トランスファー

Wafer transfer robot     repair (AB-ARM Unit)

Not       Applied

Not        Applied

Not       Applied

ATM robot replacement and  repair

Pre aligner unit replacement  and repair

SEM         システム

CD matching

PCB control loop

 

❶ 問題がスムーズに解決

高額部品・デイスコンの部品の取り替えについて、他社ではなかなか対応してもらえず、どうしたものかと途方に暮れていました。しかしGTEKが相談に乗ってくださったおかげで、とてもスムーズに問題を解決することができました。

お電話は、080-6599-8778 へどうぞ。又は、
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