創業以来約18年、ウエハファブの検査装置について常にお客様のお悩みの問題解決に邁進してまいりました。

 歩留り改善の技術として勤務した長年の経験と実績で、多くのお客様の悩みやニーズを解決させて参りました。
 GTEK 株式会社

[現在リファブ済み販売中]    ① KLA-2139   ② Hitachi CDSEM S9300

 FAB欠陥検査装置のトラブルシューテイング・部品販売・部品修理・CDSEMのEチャックのリファブ。

 KLA-Tencorの検査装置(2365/2367/Puma/2351/2360/2139/2138等) 特に2351/2360等リファブ済みの完動品装置販売 ・ TW製の装置OP/TPシリーズ   

 AMAT製のCDSEM/欠陥検査装置 ・ ADE9500・ADE9600 シリーズ装置他・日立ハイテック製CDSEM全般 ・ JOEL2000 SEM装置      
 Eチャック: CDSEMやエッチャー等のプロセス装置のEチャックの最高品質のリファブや改善を提供。

 

ご電話・お問い合わせは下記へ

08065998778
営業時間
AM4:00 ~ PM22:00
休 業 日
 なし

修理

修理価格はエクスチェンジの約80%です

多分、下記の装置の部品修理についてのご要求が多いと予想致しております。もし、時間的に余裕をお持ちの場合には、修理の方が格安です。修理の対象と致しております装置は下記の通りです。

KLA TENCOR社製の欠陥検査装置・膜厚測定機・マスクアラインメント精度測定機、

THERMAWAVE 社製のOPシリーズ・TPシリーズ、

AMAT社製のCDSEM・欠陥検査装置のCompass・CompassPro・COMPLUS、

HitachiHitech社製の88XX/S92XX/S9260/9380/CG4XXX/CG5XXX//RS5000 等のCDSEM、

優秀なエンジニアを派遣致します。まずはお試しにご連絡ください。非常に難度の高い修理でも、今まで対応出来なかったものはほとんどありませんが、一度ご連絡いただければと存じます。もし解決されたい問題がありましたら、お気軽にご相談ください。

お電話は:080-6599-8778 へ。又は,
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