部品販売

❶ 下記の装置の部品についてのご要求が多いと予想致しております。いままで、Puma, Escape (Explorer)の2365/2367, Stealthの2351/2339/2360等, 213Xシリーズの2139や2138/2135等について、光学的なあまり壊れにくく、通常触ってはいけない部品を除いて、お客様からお求めの部品で供給出来なかったものは殆んどありませんでした。2365/2367/PUMAのStageにつきましても、もし、必要であれば、その調整・キャリブレーションも可能です。213XのIMCボード、Puma, Escape (Explorer)用のMercury, 2367用のNode等の部品、それらのStage や Z-Theta Assy, TDI のTotal ASSY, PLLADのTotal Assy, それらのマザーボード(これは、出荷時に機能保証はしますが、お客様にてタイミング マッチングをお出来になれる場合のみ供給)。ただし、高額ではないものでメーカーにて在庫があるものは、当社にご連絡いただくメリットはあまりないかと存じます。
❷ KLA TENCOR社製の欠陥検査装置・膜厚測定機・マスクアラインメント精度測定機、
❸ THERMAWAVE 社製のOPシリーズ・TPシリーズ、
❹ AMAT社製のCDSEM・欠陥検査装置のCompass/CompassPro/COMPLUS、
❺ HitachiHitech社製のS88XX/S92XX/S9260/S9380/CG4XXX/CG5XXX/以前の型のRS5000等のCDSEM、
❻ 当社にて通常在庫があります2138/2139等の部品につきましては、その日に出荷可能です。遅くても、翌日には、早い便でお届け可能です。みな、機能テスト済みです。
❼ なお、Eチャックにつきましては、最高品質のEチャックのリファブを提供いたしております。対象のEチャックは、CDSEMやエッチャー等のプロセス装置のEチャックを対象といたしております。先ずは、ご連絡ください。

❽ お電話は、080-6599-8778 へ。
❾ 又は、下記の【▶️お問い合わせはこちらへ】から、お問い合わせになりたい内容をお送りください。