創業以来約18年、ウエハファブの検査装置について常にお客様のお悩みの問題解決に邁進してまいりました。

 歩留り改善の技術として勤務した長年の経験と実績で、多くのお客様の悩みやニーズを解決させて参りました。
 GTEK 株式会社

[現在リファブ済み販売中]    ① KLA-2139   ② Hitachi CDSEM S9300

 FAB欠陥検査装置のトラブルシューテイング・部品販売・部品修理・CDSEMのEチャックのリファブ。

 KLA-Tencorの検査装置(2365/2367/Puma/2351/2360/2139/2138等) 特に2351/2360等リファブ済みの完動品装置販売 ・ TW製の装置OP/TPシリーズ   

 AMAT製のCDSEM/欠陥検査装置 ・ ADE9500・ADE9600 シリーズ装置他・日立ハイテック製CDSEM全般 ・ JOEL2000 SEM装置      
 Eチャック: CDSEMやエッチャー等のプロセス装置のEチャックの最高品質のリファブや改善を提供。

 

ご電話・お問い合わせは下記へ

08065998778
営業時間
AM4:00 ~ PM22:00
休 業 日
 なし

検査装置部品の価格が高額

いままで、Puma, Escape, Stealth(Explorer), 2139や2138/2135等について、お求めの部品で光学部品以外で、殆んど供給出来なかったものはありませんでした。ただし、高額ではないものでメーカーにて在庫があるものは、当社にご連絡いただくメリットはあまりないかと存じます。

KLA TENCOR社製の欠陥検査装置・膜厚測定機・マスクアラインメント精度測定機、

ThermaWave社製のOPシリーズ・TPシリーズ、

AMAT社製のCDSEM (CX・CX+・G2からG5)・欠陥検査装置のCompass・CompassPro・COMPLUS、

HitachiHitech社製の88XX/S92XX/S9260/9380/CG4XXX/CG5XXX//RS5000 等のCDSEM、

当社の在庫あります2138/2139等の部品は、その日に出荷可能です。遅くても、翌日には、早い便でお届け可能です。みな、機能テスト済みです。
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